Шифр: 621.382 Ч-68
Чистые помещения : пер. с япон. / И. Хаякава, Т. Окадзаки, С. Фудзии и др. ; под ред. И. Хаякавы. – М. : Мир, 1990. – 456 с. : ил. – ISBN 5-03-000363-0. – 4,20
Чистые помещения : пер. с япон. / И. Хаякава, Т. Окадзаки, С. Фудзии и др. ; под ред. И. Хаякавы. – М. : Мир, 1990. – 456 с. : ил. – ISBN 5-03-000363-0. – 4,20
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 2 | 2 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- стандарти, стандарты, standards
- надвеликі інтегральні схеми, НВІС, сверхбольшие интегральные схемы, СБИС
- матричні НВІС, матричные СБИС
- реальні гази, реальные газы
- виробничі стандарти, производственные стандарты
- вібрація, вибрация
- стандарти ергономічні, стандарты эргономические, ergonomic standards
- гази, газы, gases