Шифр: 621.382.049(06) Э45
Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике : сб. науч. тр. / М-во высш. и сред. спец. образования СССР, МИЭТ. – Москва : Изд-во МИЭТ, 1983. – 136 с. – 0,57
Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике : сб. науч. тр. / М-во высш. и сред. спец. образования СССР, МИЭТ. – Москва : Изд-во МИЭТ, 1983. – 136 с. – 0,57
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 2 | 2 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics
- вакуумна мікроелектроніка, вакуумная микроэлектроника
- структури, структуры, structures
- мікроелектронні структури, микроэлектронные структуры
- напівпровідникова мікроелектроніка, полупроводниковая микроэлектроника
- мікроелектроніка НВЧ, микроэлектроника СВЧ