Шифр: 621.382 Э45
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов : пер. с англ. / Дж. Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот и др. ; под ред. Брюэра Дж. Р. – Москва : Радио и связь, 1984. – 336 с. : ил. – 1,90
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов : пер. с англ. / Дж. Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот и др. ; под ред. Брюэра Дж. Р. – Москва : Радио и связь, 1984. – 336 с. : ил. – 1,90
Статистика використання: Видач: 1
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 4 | 4 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- біполярні транзистори, БПТ, биполярные транзисторы, bipolar transistors
- лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography
- кремнієві планарні транзистори, кремниевые планарные транзисторы
- нанолітографія, нанолитография