Вид документа:

Книга

УДК:

621.318+539.23
Шифр: 621.318 Д 18
Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б.С. Данилин. – М. : Энергоатомиздат, 1989. – 326 с. : ил. – ISBN 5-283-03939-0. – 3,60


Статистика використання: Видач: 0