Нанолитография - наноимпринтинг / И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, Е. А. Фризюк, О. Г. Шинкаренко // Радиотехника. – 2007. – №Вып. 150. – С. 151–158.
Складова документа:Шифр: 621.396(06) Р15
Радиотехника : всеукр. межведомств. науч.-техн. сб. Вып. 150 / МОН Украины , Харьк. нац. ун-т радиоэлектроники ; [ редкол. : В. М. Шокало ( гл. ред.) и др. ]. – Харьков : ХНУРЭ, 2007. – 197 с. : ил. – 588.00
Анотація:
Методы наноимпринтиговой литографии пригодны для массового производства и позволяют изготавливать элементы с разрешающей способностью менее 10 нм на подложке 10х10 см и более. Рассмотрены разновидности НИЛ: горячее прессование, УФ-стимулирование, обратный наноимпринтинг, наноконтактная печать, микроконтактная печать, нанопечать переносом
Тема:
- УДК
- 621.38 Електроніка. Мікроелектроніка
- 539.2 Властивості та структура молекулярних систем Ключові слова
- друк, печать
- нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology
- ХНУРЕ- праці науковців, ХНУРЭ - труды научных сотрудников
- нанолітографія, нанолитография ХНУРЕ. Праці співробітників
- Невлюдов Ігор Шакирович, Невлюдов Игорь Шакирович, Nevliudov Igor Shakirovych
- Палагін Віктор Андрійович, Палагин Виктор Андреевич, Palagun Victor Andriyovych
- Разумов-Фризюк Євгеній Анатолійович, Разумов-Фризюк Евгений Анатольевич, Razumov-Fryzyuk Evgueniy Anatoliyovych