Вид документа:

Збірник

УДК:

539.2
Шифр: 539.2 И75
Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы : сб. ст. : пер. с англ. / под ред. В. С. Вавилова. – Москва : Мир, 1980. – 330 с. – (Новости физики твердого тела). – 2,80


Статистика використання: Видач: 0