Шифр: 621.382 П73
Пресс Ф. П. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем / Ф. П. Пресс. – М. : Советское радио, 1978. – 96 с. : ил. – (Массовая библиотека инженера "Электроника"). – 0,30
Пресс Ф. П. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем / Ф. П. Пресс. – М. : Советское радио, 1978. – 96 с. : ил. – (Массовая библиотека инженера "Электроника"). – 0,30
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 8 | 8 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- напівпровідникові прилади, полупроводниковые приборы, semiconductor devices
- лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography
- напівпровідникові прилади НВЧ, полупроводниковые приборы СВЧ
- силові напівпровідникові прилади, СНВ, силовые полупроводниковые приборы, СПП
- нанолітографія, нанолитография