Шифр: 621.382 П73
Пресс Ф. П. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов / Ф. П. Пресс. – М. : Энергия, 1968. – 200 с. : ил. – 0,79
Пресс Ф. П. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов / Ф. П. Пресс. – М. : Энергия, 1968. – 200 с. : ил. – 0,79
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 7 | 7 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- напівпровідникові прилади, полупроводниковые приборы, semiconductor devices
- лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography
- напівпровідникові прилади НВЧ, полупроводниковые приборы СВЧ
- силові напівпровідникові прилади, СНВ, силовые полупроводниковые приборы, СПП
- нанолітографія, нанолитография