В диссертационной работе поставлен и решен ряд вопросов исследования и разработки алгоритмов оптимального управления технологическими процессами при производстве полупроводниковых материалов. На примере производства кремниевых эпитаксиальных структур проведен системный анализ исследуемого процесса, рассмотрены основные технико-экономичекие показатели и проанализирована возможность их использования в качестве критериев оптимизации. Для решения задач оптимизации технологических режимов использована теория планирования эксперимента, в рамках которой построены, исследованы и применены на практике планы второго порядка, обладающие свойством и ортогональности и рототабельности.