Шифр: 621.382 Б88
Броудай И. Физические основы микротехнологии : пер. с англ. / И. Броудай, Дж. Мерей ; под ред. Шальнова А. В. – Москва : Мир, 1985. – 496 с. : ил. – 2,60
Броудай И. Физические основы микротехнологии : пер. с англ. / И. Броудай, Дж. Мерей ; под ред. Шальнова А. В. – Москва : Мир, 1985. – 496 с. : ил. – 2,60
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 9 | 9 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- мікросхеми, микросхемы, Mikroschaltungen
- інтегральні мікросхеми, ІМС, интегральные микросхемы, ИМС, integrierte Mikroschaltungen
- фотони, фотоны
- лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography
- оптоелектронні мікросхеми, оптоэлектронные микросхемы
- мікрохвильові оптоелектронні прилади, микроволновые оптоэлектронные приборы, microwave optoelectronic devices