Шифр: 621.382 П 37
Плазменная технология в производстве СБИС : пер. с англ. / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. и др. Хесс ; под ред. Н. Айнспрука, Е.С. Машковой. – М. : Мир, 1987. – 469 с. – 3,40
Плазменная технология в производстве СБИС : пер. с англ. / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. и др. Хесс ; под ред. Н. Айнспрука, Е.С. Машковой. – М. : Мир, 1987. – 469 с. – 3,40
Статистика використання: Видач: 1
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 2 | 2 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
- 533.92 Реакції, що відбуваються в плазмі, включаючи внутрішньоатомні, швидкість реакцій Ключові слова
- резистори, резисторы, resistors
- плазма, plasma
- технологія, технология
- діелектричні плівки, диэлектрические пленки