П77
Притчин С. Э. Усовершенствование технологии выращивания слитков кремния с равномерным распределением кислорода : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 "Технология, оборудование и производство электронной техники" / Притчин Сергей Эмильевич ; МОН Украины, Ин-т экономики и новых технологий. – Кременчуг, 2003. – 232 с. : ил. – Библиогр.: с. 168–174.
Притчин С. Э. Усовершенствование технологии выращивания слитков кремния с равномерным распределением кислорода : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 "Технология, оборудование и производство электронной техники" / Притчин Сергей Эмильевич ; МОН Украины, Ин-т экономики и новых технологий. – Кременчуг, 2003. – 232 с. : ил. – Библиогр.: с. 168–174.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Целью диссертационной работы является: научное обоснование методик, алгоритмов и аппаратурных решений для контроля технологических параметров выращивания слитков; комплексное экспериментальное исследование процессов внедрения и распределения кислорода в слитках; исследования влияния на этот процесс технологических параметров (скорость выращивания слитка, частота вращения тигля); научное определение оптимальных параметров технологических процессов выращивания слитков большого диаметра, содержащих заданную концентрацию кислорода, равномерно распределенного по длине.