О-52
Оксанич А. П. Методы и аппаратура контроля структурно-геометрического совершенства полупроводниковых материалов и структур в условиях их серийного производства : дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 "Технология, оборудование и производство электронной техники" / Оксанич Анатолий Петрович ; Ин-т экономики и новых технологий. – Кременчуг, 2002. – 296 с. : ил. – Библиогр.: с. 265–278.
Оксанич А. П. Методы и аппаратура контроля структурно-геометрического совершенства полупроводниковых материалов и структур в условиях их серийного производства : дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 "Технология, оборудование и производство электронной техники" / Оксанич Анатолий Петрович ; Ин-т экономики и новых технологий. – Кременчуг, 2002. – 296 с. : ил. – Библиогр.: с. 265–278.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Цель диссертационной работы - разработка научно-обоснованных экспрессных методов контроля деформаций, механических напряжений, структурного совершенства и создание на их основе измерительного, ростового оборудования и аппаратуры для контроля структурного совершенства полупроводниковых кристаллов как в процессе роста, так и на выходном контроле.