Невлюдов І.Ш. Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем / І.Ш. Невлюдов, В.М. Свищ, В.А. Палагін // Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития. – 2005. – С.111–114.
Складова документа:Шифр: 621.37/39(06) П 75
Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития : материалы 2-го междунар. радиоэлектрон. форума (МРФ'2005) 19-23 сент. 2005г. : сб. науч. тр. Т.1. Пленарные заседания Форума, семинары и круглые столы / АНПРЭ, ХНУРЭ. – Х. : ХНУРЭ, 2005. – 275 с. : ил. – ISBN 966-659-104-9. – 30,00
Анотація:
Метою роботи є виявлення особливостей різних технологічних процесів для вибору об'єктів, їх конструктивно-технічних рішень, поєднання можливостей, зусиль і технічних засобів різних розробників і виробників для створення мікроелектромеханічних систем
Тема:
- Ключові слова
- нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology
- електромеханічні системи, электромеханические системы
- технологічні процеси, ТП, технологические процессы ХНУРЕ. Праці співробітників
- Невлюдов Ігор Шакирович, Невлюдов Игорь Шакирович, Nevliudov Igor Shakirovych
- Палагін Віктор Андрійович, Палагин Виктор Андреевич, Palagun Victor Andriyovych
- Свищ Володимир Митрофанович, Свищ Владимир Митрофанович, Svyshch Volodymyr Mytrofanovych