Толстенок О.А. Анизотропное травление кремниевіх пластин при изготовлении тензопреобразователей / О.А. Толстенок, Т.А. Холомина // Известия высших учебных заведений, Электроника. – 2004. – №1. – С.60–64
Складова документа:
Известия высших учебных заведений, Электроника : научно-технический журнал. 1 / МО РФ. МИЭТ. // Известия высших учебных заведений, Электроника. – М. – 2004. – №3
Анотація:
Представлені результаті мзучения возможности формирования упругих єлементов тензопреобразователей на структурах кремний-на-изоляторе в технологии изготовления интегральніх схем при помощи анизотропного травления кремния