Процессы очистки кремниевых пластин / И.В. Кирюшина, Л.З. Красавина, А.Д. Просий и др. // Известия высших учебных заведений, Электроника. – 2004. – №1. – С.53–59
Складова документа:
Известия высших учебных заведений, Электроника : научно-технический журнал. 1 / МО РФ. МИЭТ. // Известия высших учебных заведений, Электроника. – М. – 2004. – №3
Анотація:
Проведено исследование процессов жидкостной химической подготовки пластин в растворах с традиционной рецептурой компонентов и модифицированной рецептурой компонентов в технологическом маршруте изготовления СБИС