Вид документа:

Книга

УДК:

621.382(07) + 007.52(07)
Шифр: 621.382(07) П16
Панфилов Ю. В. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. Оборудование и производство ИС / Ю. В. Панфилов, В. Т. Рябов, Ю. Б. Цветков. – М. : Радио и связь, 1988. – 320 с. : ил. – ISBN 5-256-00062-4. – 1,00


Статистика використання: Видач: 0