Вид документа:

Стаття періодики

УДК:

621.3.08:681.2.08

Чаплыгин Ю.А. Радиоволновые и оптические измерения толщины и электропроводности металлических пленок на полупроводниковых и диэлектрических подложках / Ю.А. Чаплыгин // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2005. – №1. – С.68–77



Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №1 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2005


Анотація:
Обобщены ранее проведенные теоретические и экспериментальные исследования особенностей взаимодействия излучения микроволнового и оптического диапазонов с металлополупроводниковыми и металлодиэлектрическими структурами.