Бабыченко С.В. Неразрушающий технологический СВЧ контроль параметров полупроводниковых структур на основе арсенида галлия / С.В. Бабыченко, Б.Г. Бородин, Ю.Е. Гордиенко // Радиоэлектроника и информатика. – 2004. – №2. – С.43–47.
Анотація:
Предлагается метод измерения электропроводности и толщины высокоомных арсенидгаллиевых пластин и эпитаксиальных или ионно-имплантированных слоев, основанный на определении относительного изменения добротности и уровня включения образца в поле цилиндрического СВЧ резонатора