Использование эффекта понижения температуры плавления тонких пленок меди в процессе заполнения канавок и контактных окон для технологии многоуровневой металлизации кремниевых ИС / Д.Г. Громов, А.Г. Климовицкий, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2004. – №6. – C.3–10
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №6 / М-во образ. РФ.МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2004
Анотація:
Обоснована и экспериментально продемонстрирована возможность заполнения медью узких канакок и контактных окон, используя эффект понижения температуры плавления пленки меди с уменьшением ее толщины. Показано, что температура процесса заполнения канавок существенно ниже температуры плавления объемной меди и зависит от толщины пленок меди