К65
Копылов Г. В. Разработка методов и алгоритмов косвенного контроля параметров сложных технологических процессов (в приложении к процессу электроосаждения) : дис. ... канд. техн. наук : 05.13.01 ; 05.13.05 / Копылов Геннадий Викторович ; Харьк. ин-т радиоэлектроники. – Харьков, 1991. – 178 с. : ил. – Библиогр.: с. 161–169.
Копылов Г. В. Разработка методов и алгоритмов косвенного контроля параметров сложных технологических процессов (в приложении к процессу электроосаждения) : дис. ... канд. техн. наук : 05.13.01 ; 05.13.05 / Копылов Геннадий Викторович ; Харьк. ин-т радиоэлектроники. – Харьков, 1991. – 178 с. : ил. – Библиогр.: с. 161–169.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Целью диссертационной работы является повышение информативности и точности контроля, т.е. разработка как принципиально новых методов и устройств контроля параметров качества электроосаждаемых покрытий, так и разработка алгоритмических методов косвенного контроля технологических параметров сложных процессов на примере технологического процесса электроосаждения.