Щагин А.В. Многофункциональная технологическая платформа для микроэлектроники / А.В. Щагин, Г.Х. Сатаров // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2003. – №5. – С.45–49
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №5 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2003
Анотація:
Рассмотрим перспективы развития специального технологического оборудования для микроэлектронных технологий. Описывается многофункциональная кластерная технологическая установка для производства СБИС