Возможности оценки качества систем металлизации интегральных микросхем на основе алюминиевых сплавов различными методами / С.И. Бабкин, В.Ю. Киреев, Т.В. Козырева и др. // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2003. – №5. – С.38–44
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №5 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2003
Анотація:
Исследованы возможности спектрофотометрического метода измерения отражательной способности, профилометрического метода измерения рельефа поверхности и метода измерения рассеяния лазерного излучения поверхностью для оценки качества (морфологии строения зерен) пленочных структур Al(0,5% Cu) и Al(0,5% Сu)-TiN