Мальцев В.П. Исследование процесса образования пленок фоторезистов методом дифференциальной сканирующей калориметрии / В.П. Мальцев, А.С. Пашинкин, С.П. Тимошенков // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2003. – №5. – С.23–27
Складова документа:
Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. №5 / М-во образ. РФ. МИЭТ // Известия высших учебных заведений. Электроника. – М., 2003
Анотація:
Для оценки адгезионных свойств фоторезистов проведена работа по калориметрическим исследованиям теплоты пленкообразования фоторезиста на микрокалориметре DSC-910 фирмы DuPont.