Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур / Ю. Е. Гордиенко, М. И. Пятайкина, С. Ю. Ларкин и др. // Радиоэлектроника и информатика. – 2013. – №4(63). – С. 8–13.
Складова документа:
Радиоэлектроника и информатика : научно-технический журнал. №4(63) / ХТУРЭ // Радиоэлектроника и информатика. – Харьков, 2013
Анотація:
Исследуются особенности применения микроволнового излучения как средства высоколокального нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи ближнеполевых СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предлагается вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и сппецифике пространственно-временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. Показывается, что при определенном соотношении параметров пленки и подложки возможно также осуществить геттерирование дефектов из подложки.
Тема:
- УДК
- 536.331 Нагріавння випромінюванням Ключові слова
- модифікація, модификация
- чисельне моделювання, численное моделирование
- тонкоплівкові структури, тонкопленочные структуры
- напівпровідникові структури, НПС, полупроводниковые структуры, ППС
- температура, температура
- мікрохвильове випромінювання, микроволновое излучение
- коаксіальні хвилеводи, коаксиальные волноводы
- апертура ХНУРЕ. Праці співробітників
- Сліпченко Микола Іванович, Слипченко Микола Иванович, Slipchenko M. I.
- Поліщук Олександр Вікторович, Полищук Александр Викторович, Polishchyk O. V.
- Гордієнко Юрій Омелянович, Гордиенко Юрий Емельянович
- Проказа Олександр Михайлович, Проказа Александр Михайлович