Шифр: 621.315 Д58
Довгий В. В. Елементи аналітичних мікросистем-на-кристалі зі структурами «кремній-на-ізоляторі» : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 "Твердотільна електроніка" / Довгий Віктор Володимирович ; Чернівец. нац. ун-т ім. Ю. Федьковича. – Чернівці, 2017. – 20 с.
Довгий В. В. Елементи аналітичних мікросистем-на-кристалі зі структурами «кремній-на-ізоляторі» : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 "Твердотільна електроніка" / Довгий Віктор Володимирович ; Чернівец. нац. ун-т ім. Ю. Федьковича. – Чернівці, 2017. – 20 с.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Розроблено архітектуру аналітичних мікросистем-на-кристалі (АМнК), що
являє собою спеціалізований кристал інтегральних схем (ІС), побудований
за принципом матричних ІС і містить спеціальну «технологічну площадку» з елементами зв'язку та матрицю бібліотечних елементів для реалізації схем аналогових та цифрових опрацювань первинної інформації від сенсорних елементів, а також базові матричні комірки для побудови вхідних/вихідних каскадів АМнК. Визначені дво-, трьохрівневі та комбіновані локальні ЗВ КМОН "кремній-на-ізоляторі" (КНІ)-структури. Промодельовані технологічні послідовності
і режими формування дворівневих тривимірних КНІ-структур, конструктивно суміщених з мікропорожнинами під поверхнею кремнієвої пластини, які можуть бути використані для створення тривимірних КНІ транзисторних чутливих елементів з можливістю подання зміщення до підканальної області для усунення «кінк-ефекту». Наведено результати приладно-технологічного, електрофізичного та схемотопологічного моделювання базових приладних елементів аналітичних мікросистем, досліджено вихідні каскади, виконані за традиційною КНІ технологією та буферних драйверів з використанням подвійного управління підканальною областю в КНІ-транзисторах, що містять як КМОН, так і біполярні
транзистори.
являє собою спеціалізований кристал інтегральних схем (ІС), побудований
за принципом матричних ІС і містить спеціальну «технологічну площадку» з елементами зв'язку та матрицю бібліотечних елементів для реалізації схем аналогових та цифрових опрацювань первинної інформації від сенсорних елементів, а також базові матричні комірки для побудови вхідних/вихідних каскадів АМнК. Визначені дво-, трьохрівневі та комбіновані локальні ЗВ КМОН "кремній-на-ізоляторі" (КНІ)-структури. Промодельовані технологічні послідовності
і режими формування дворівневих тривимірних КНІ-структур, конструктивно суміщених з мікропорожнинами під поверхнею кремнієвої пластини, які можуть бути використані для створення тривимірних КНІ транзисторних чутливих елементів з можливістю подання зміщення до підканальної області для усунення «кінк-ефекту». Наведено результати приладно-технологічного, електрофізичного та схемотопологічного моделювання базових приладних елементів аналітичних мікросистем, досліджено вихідні каскади, виконані за традиційною КНІ технологією та буферних драйверів з використанням подвійного управління підканальною областю в КНІ-транзисторах, що містять як КМОН, так і біполярні
транзистори.
Тема:
- Ключові слова
- мікросистемна техніка (мікросистемотехніка), МСТ, микросистемная техника (микросистемотехника)
- матричні комірки, матричные ячейки
- тривимірні транзистори, трехмерные транзисторы
- сенсорні елементи, сенсорные элементы
- кремній-на-ізоляторі, кремний-на-изоляторе УДК
- 621.315.592 Електронні напівпровідники