ТАВР
Корнієць С. В. Методи підвищення точності сенсорних компонентів мікроелектромеханічних систем : магістерська атестаційна робота, пояснювальна записка / С. В. Корнієць ; кер. роботи проф. Олександров Ю.М. ; ХНУРЕ, Кафедра Технології автоматизації РЕЗ та ЕОЗ. – Харків, 2015. – 124 с. : CD
Корнієць С. В. Методи підвищення точності сенсорних компонентів мікроелектромеханічних систем : магістерська атестаційна робота, пояснювальна записка / С. В. Корнієць ; кер. роботи проф. Олександров Ю.М. ; ХНУРЕ, Кафедра Технології автоматизації РЕЗ та ЕОЗ. – Харків, 2015. – 124 с. : CD
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
В данной работе исследованы технологические производственные процессы микроэлектромеханических систем, представлен анализ конструкций МЭМС и определены перспективные направления развития МЭМС.
Рассчитаны электромеханические параметры микроактюатора гребенчатого типа. Его параметры: максимальная сила - 885 мкН, максимальное смещение - 0,2 мм, емкость между обкладками - 13,23 пФ.
Гребенчатый микроактюатор изготовлен по технологии MUMPs (многопользовательская МЭМС технология).
Объект исследования - МЭМС технологии и МЭМС-устройства, в часности микроактюаторы.
Микроэлектромеханические системы определены как одна из наиболее перспективных технологий 21-го века и является революционным направлением как в промышленности так и для товаров народного потребления.
МЭМС объединяют микроэлектронные технологии, основанные на кремниевых процессах, с микромеханикой.
Микросистемная техника имеет потенциал для кардинального изменения всей нашей дальнейшей жизни.
МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА, МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИКА, МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ, МИКРОТЕХНОЛОГИИ, ПОЛИКРЕМНИЙ, МИКРОДАТЧИКИ, ГРЕБЕНЧАТЫЕ МИКРОАКТЮАТОРЫ.
У даній роботі досліджені технологічні виробничі процеси мікроелектромеханічних систем, представлений аналіз конструкцій МЕМС і визначені перспективні напрямки розвитку МЕМС.
Розраховано електромеханічні параметри мікроактюаторів гребенчатого типу. Його параметри: максимальна сила - 885 мкН, максимальний зсув - 0,2 мм, ємність між обкладками - 13,23 пФ.
Гребенчатий мікроактюатор виготовлений за технологією MUMPs (багатокористувачська МЕМС технологія).
Об'єкт дослідження - МЕМС технології й МЕМС-пристрої, у часності мікроактюатори.
Мікроелектромеханічні системи визначені як одна з найбільш перспективних технологій 21-го століття і є революційним напрямком як у промисловості так і для товарів народного споживання.
МЕМС поєднують мікроелектронні технології, засновані на кремнієвих процесах, з мікромеханікою.
Мікросистемна техніка має потенціал для кардинальної зміни всього нашого подальшого життя.
МІКРОСИСТЕМНА ТЕХНІКА, МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІКА, МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНІ СИСТЕМИ, МІКРОТЕХНОЛОГІЇ, ПОЛІКРЕМНІЙ, МІКРОДАТЧИКИ, ГРЕБЕНЧАТІ МІКРОАКТЮАТОРИ.
Рассчитаны электромеханические параметры микроактюатора гребенчатого типа. Его параметры: максимальная сила - 885 мкН, максимальное смещение - 0,2 мм, емкость между обкладками - 13,23 пФ.
Гребенчатый микроактюатор изготовлен по технологии MUMPs (многопользовательская МЭМС технология).
Объект исследования - МЭМС технологии и МЭМС-устройства, в часности микроактюаторы.
Микроэлектромеханические системы определены как одна из наиболее перспективных технологий 21-го века и является революционным направлением как в промышленности так и для товаров народного потребления.
МЭМС объединяют микроэлектронные технологии, основанные на кремниевых процессах, с микромеханикой.
Микросистемная техника имеет потенциал для кардинального изменения всей нашей дальнейшей жизни.
МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА, МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИКА, МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ, МИКРОТЕХНОЛОГИИ, ПОЛИКРЕМНИЙ, МИКРОДАТЧИКИ, ГРЕБЕНЧАТЫЕ МИКРОАКТЮАТОРЫ.
У даній роботі досліджені технологічні виробничі процеси мікроелектромеханічних систем, представлений аналіз конструкцій МЕМС і визначені перспективні напрямки розвитку МЕМС.
Розраховано електромеханічні параметри мікроактюаторів гребенчатого типу. Його параметри: максимальна сила - 885 мкН, максимальний зсув - 0,2 мм, ємність між обкладками - 13,23 пФ.
Гребенчатий мікроактюатор виготовлений за технологією MUMPs (багатокористувачська МЕМС технологія).
Об'єкт дослідження - МЕМС технології й МЕМС-пристрої, у часності мікроактюатори.
Мікроелектромеханічні системи визначені як одна з найбільш перспективних технологій 21-го століття і є революційним напрямком як у промисловості так і для товарів народного споживання.
МЕМС поєднують мікроелектронні технології, засновані на кремнієвих процесах, з мікромеханікою.
Мікросистемна техніка має потенціал для кардинальної зміни всього нашого подальшого життя.
МІКРОСИСТЕМНА ТЕХНІКА, МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІКА, МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНІ СИСТЕМИ, МІКРОТЕХНОЛОГІЇ, ПОЛІКРЕМНІЙ, МІКРОДАТЧИКИ, ГРЕБЕНЧАТІ МІКРОАКТЮАТОРИ.