Вид документа:

Збірник

УДК:

621.382.8
Шифр: 621.382 А43
Активируемые процессы технологии микроэлектроники : межвуз. темат. науч. сб. Вып. 4 / Таганрог. радиотехн. ин-т. – Таганрог, 1978. – 175 с. : ил. – 1,10


Статистика використання: Видач: 0