Розроблено алгоритм розрахунку схем збудження флуоресценції проби, що базується на застосуванні операторів фільтрації, флуоресценції і розсіювання до вихідного спектра рентгенівської трубки. Отримано аналітичні вирази у квадратурі для оптимізації вузлів схеми. Теоретично розраховано розподіл фону розсіяного випромінювання і контрастність аналітичних ліній зразка при збудженні флуоресценції за допомогою двошарової вторинної мішені. Досліджено високостабільні еталони мас, отримані методом магнетронного осадження шарів металів на монокристалічні підкладки. Розглянуто метод аналізу хімічного складу за спектром вторинного рентгенівського випромінювання, що включає брегівські відбиття зразка.