Л38
Левченко Е. Н. Исследование процесса проявления электронорезиста с учетом закономерностей формирования в нем скрытого изображения : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 "Твердотельная электроника и микроэлектроника" / Левченко Елена Николаевна ; Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова. – Киев, 1990. – 16 с.
Левченко Е. Н. Исследование процесса проявления электронорезиста с учетом закономерностей формирования в нем скрытого изображения : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 "Твердотельная электроника и микроэлектроника" / Левченко Елена Николаевна ; Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова. – Киев, 1990. – 16 с.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Цель работы- отыскание методов исследования закономерностей жидкостного проявления электроннорезиста во взаимосвязи с процессом экспонирования и изучение с помощью этих методов условий, необходимых для формирования субмикронных структур, отыскание наиболее выгодных технологических параметров этих процессов, сводящих к минимуму возникающие искажения.