В31
Вербицкий В. Г. Получение пленок силицидов титана и молибдена вакуумным и методами для интегральных схем : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 "Твердотельная электроника и микроэлектроника" / Вербицкий Владимир Григорьевич ; Киев. политехн. ин-т. – Киев, 1988. – 17 с.
Вербицкий В. Г. Получение пленок силицидов титана и молибдена вакуумным и методами для интегральных схем : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 "Твердотельная электроника и микроэлектроника" / Вербицкий Владимир Григорьевич ; Киев. политехн. ин-т. – Киев, 1988. – 17 с.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Целью работы является создание внутрикамерных устройств на базе МРУ, ЭЛИ для получения силицидных пленок из смешанных паровых потоков с изменяемой энергией конденсирующихся частиц, изучение закономерностей формирования силицидов и разработка высокопроизводительных технологических процессов нанесения и отжига пленок силицида титана.