Б43
Белоусов И. В. Исследование закономерностей формирования и электрофизических свойств пленок силицидов тугоплавких металлов, контактных структур на их основе для кремниевых схем : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 "Твердотельная электроника и микроэлектроника" / Белоусов Игорь Владимирович. – Киев, 1988. – 16 с.
Белоусов И. В. Исследование закономерностей формирования и электрофизических свойств пленок силицидов тугоплавких металлов, контактных структур на их основе для кремниевых схем : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 "Твердотельная электроника и микроэлектроника" / Белоусов Игорь Владимирович. – Киев, 1988. – 16 с.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Целью работы явилось исследование закономерностей роста пленок V. Co, Ti, W. осажденных на поверхность Si, SiO2, сапфира, а также их силицидов, сформированных при взаимодействии металлов с кремнием, и роли различных технологических факторов, определяющих электрические , в том числе и сверхпроводящие параметры этих пленок и контактов силицид-кремний.