Шифр: 621.382(07) В24
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учеб. пособие для вузов : в 2 т. Т. 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. – Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 392 с. : ил. – (Нанотехнологии). – ISBN 978-5-9963-0335-9. – 156,00
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учеб. пособие для вузов : в 2 т. Т. 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. – Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 392 с. : ил. – (Нанотехнологии). – ISBN 978-5-9963-0335-9. – 156,00
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 5 | 5 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
- 620.3 Нанотехнологія Ключові слова
- нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology
- мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics
- термодифузія, термодиффузия
- епітаксійні структури, эпитаксиальные структуры
- фізико-хімічні системи, физико-химические системы
- гетерогенні структури, гетерогенные структуры
- мікроморфологія, микроморфология