И88
Исследование возможности оптимизации измерений электрофизических параметров диэлектрических и полупроводниковых структур накладными СВЧ средствами : отчет о НИР (заключ.) / МОН України, ХИРЭ ; науч. рук . В.А. Алексеев ; исполн.: В.В. Старостенко и др. – Харьков, 1977. – 94 с.
Исследование возможности оптимизации измерений электрофизических параметров диэлектрических и полупроводниковых структур накладными СВЧ средствами : отчет о НИР (заключ.) / МОН України, ХИРЭ ; науч. рук . В.А. Алексеев ; исполн.: В.В. Старостенко и др. – Харьков, 1977. – 94 с.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Целью данной работы является разработка СВЧ- методов и аппаратуры для исследования в технологическом процессе изготовления диэлектрических и полупроводниковых структур.