Вид документа:

Звіт про НДР

УДК:

621.317.799
И88
Исследование возможности применения СВЧ-методов для неразрушающего контроля параметров конденсированных полупроводниковых и диэлектрических покрытий на металлических подложках : отчет о НИР / МОН України, ХИРЭ ; науч. рук . А.Г. Шеин ; исполн.: Ю.Е. Гордиенко и др. – Харьков, 1977. – 131 с.


Статистика використання: Видач: 0

Анотація:
В отчете изложены результаты теоретического и экспериментального исследования СВЧ методов неразрушающего контроля параметров диэлектрических, полупроводниковых и металлических покрытий на различных подложках.