Вид документа:

Звіт про НДР

УДК:

658.51
И88
Исследование и разработка теоретических и прикладных задач повышения эффектьивности производства полупроводниковых материалов : отчет о НИР (заключ.) / МОН України, ХИРЭ ; науч. рук. В. В. Свиридов ; исполн. : А. Г. Рогалин и др. – Харьков, 1983. – 63 с.


Статистика використання: Видач: 0

Анотація:
Объектом исследования является технологический процесс производства полупроводниковых материалов.
Целью работы является повышение эффективности производства полупроводниковых материалов.