Вид документа:

Звіт про НДР

УДК:

658.51
И88
Исследование и разработка теоретических и прикладных задач повышения эффектьивности производства полупроводниковых материалов : отчет о НИР (промежут.) / МОН України, ХИРЭ ; науч. рук. В. В. Свиридов ; исполн. : А. Г. Рогалин и др. – Харьков, 1982. – 63 с.


Статистика використання: Видач: 0

Анотація:
В отчете изложены результаты исследования и разработок теоретических прикладных задач повышения эффективности производства полупроводниковых материалов.
Предложена процедура построения нелинейной модели распределения удельного электрического сопротивления по длине слитка монокристаллического кремния с применением многомерного анализа, статистических методов и адаптации.