И88
Исследование и разработка теоретических и прикладных задач повышения эффектьивности производства полупроводниковых материалов : отчет о НИР (промежут.) / МОН України, ХИРЭ ; науч. рук. В. В. Свиридов ; исполн. : Е. В. Бодянский и др. – Харьков, 1979. – 93 с.
Исследование и разработка теоретических и прикладных задач повышения эффектьивности производства полупроводниковых материалов : отчет о НИР (промежут.) / МОН України, ХИРЭ ; науч. рук. В. В. Свиридов ; исполн. : Е. В. Бодянский и др. – Харьков, 1979. – 93 с.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
В отчете проведено обоснование выбранного направления исследований. Построены математические модели скорости роста эпиктаксиального слоя. Найдены оптимальные режимы протекания технологического процесса. Исследованы деформации, возникающие в процессе роста эпитаксального слоя.
Тема:
- УДК
- 658.51 Організація виробничого процесу Ключові слова
- ефективність виробництва, эффективность производства, production efficiency, industrial productivity
- класифікація, классификация, classification
- ідентифікація, идентификация
- кореляція, корреляция, correlation
- опір, сопротивление, resistance, R
- монокристали, монокристаллы
- адаптаційна оптимізація, адаптационная оптимизация