Вид документа:

Складова частина документа

УДК:

681.3.016

Невлюдов И. Ш. Экспериментальная проверка теоретических основ, положенных в основу технологии автоматизированного контроля шероховатости поверхности подложки / И. Ш. Невлюдов, С. П. Новоселов, А. Г. Резниченко // Радиотехника. – 2011. – №Вып. 164. – С. 155–162.



Складова документа:Шифр: 621.396(06) Р15
Радиотехника : всеукр. межведомств. науч.- техн. сб. Вып. 164 / МОН Украины, Харьк. нац. ун-т радиоэлектроники ; [ редкол. : В. М. Шокало ( гл. ред.) и др. ]. – Харьков : ХНУРЭ, 2011. – 213 с. : ил. – 40.00


Анотація:
Рассматриваются результаты экспериментальной проверки предложенного метода распознавания и восстановления интерференционного сигнала, отраженного от функциональной поверхности подложки, выполненной моделированием на ПЭВМ.