Подробно изложена диффузионная теория СВЧ-разряда, причем основное внимание уделено электрическому пробою в газах под действием неоднородного импульсно-модулированного СВЧ-поля. Приведены результаты теоретического исследования электропрочности газов в поле излучающей сферы и бесконечного провода, а также внутри коаксиальной линии при одноимпульсном и многоимпульсном режимах формирования разряда. Развит известный метод расчета пробивных полей для различных импульсных режимов с использованием "коэффициента импульса".