У дисертації розроблено технології виробництва кремнієвих одношарових епітаксійних структур (КОЕС) з різкими концентраційно-перехідними областями
і поліпшеними структурними характеристиками. Виконано розрахунки термопружного вигину і термонапруг, які можна застосувати для прогнозування виникнення дислокацій, ліній ковзання та інших структурних дефектів, що з'являються в КОЕС у результаті термообробки. Розроблена установка "Вертикаль-2МА" для отримання КОЕС при зниженому тиску і температурі в реакторі. Розроблено науково-обґрунтовану методику і пристрій контролю складних форм вигину і напруги в КОЕС. Розраховані вирази для визначення критичних напружень G_kp і критичного радіального градієнта температур Т_kp
та визначений взаємозв'язок цих виразів з діаметром, товщиною КОЕС і пружними постійними (модулем Юнга Е та коефіцієнтом Пуассона v).