В дисертації проведено комплексне дослідження структури та субструктури полікристалічних плівок ZnO (ZnO:Al) та AIN залежно від фізико-технологічних
умов їх конденсації. Встановлені режими отримання високоякісних конденсатів сполуки, придатних для використання у приладобудуванні. Проведене чисельне моделювання основних електрофізичних характеристик гетеросистем на основі ZnO, був визначений коефіцієнт корисної дії для кожного з переходів. Вивчений вплив таких параметрів, як товщина поглинального шару, температура конденсації, тип поглинального шару, на поведінку вольт-амперних характеристик та квантового виходу гетеросистем. Було запропоновано та реалізовано моделювання гетеросистем n-ZnO/p-Si, n-ZnO/n-CdS/p-CIGS, n-ZnO/n-CdS/p-Si
та n-ZnO/AIN//p-Si. Проведено порівняння модельних та експериментальних результатів. У результаті проведених експериментальних досліджень були визначені оптимальні режими отримання плівок ZnO та AIN, проведений структурнофазовий аналіз, досліджені оптичні та електрофізичні властивості бездомішкових та легованих алюмінієм плівок оксиду цинку. При порівнянні експериментальних результатів та моделювання було визначено, що введення AIN у конструкцію СЕ покращує його характеристики.