Вид документа:

Збірник

УДК:

621.382.8(06)
Шифр: 621.382(06) М74
Моделирование, управление, контроль при производстве интегральных схем : сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники. – Москва, 1983. – 99 с. – 0,42


Статистика використання: Видач: 0