М59
Мікрохвильова діагностика та модифікація матеріалів в нанотехнологіях : звіт про НДР ( заключит.) / МОН України, ХНУРЕ ; наук. рук. Ю. О. Гордієнко ; викон. : Ю. І. Гуд та ін. – Харків, 2008. – 264 с.
Мікрохвильова діагностика та модифікація матеріалів в нанотехнологіях : звіт про НДР ( заключит.) / МОН України, ХНУРЕ ; наук. рук. Ю. О. Гордієнко ; викон. : Ю. І. Гуд та ін. – Харків, 2008. – 264 с.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Об'єкт дослідження - метод мікро- та нанодіагностики і модифікації материалів в нанотехнологиях.
Мета роботи - розробка теоретичних та експерементальних основ та створення ближньопольового мікрохвильового скануючого мікроскопа для мікродіагностики напівпровідникових матеріалів, інтегральніх структур та локальної модифікації матеріалів.
Мета роботи - розробка теоретичних та експерементальних основ та створення ближньопольового мікрохвильового скануючого мікроскопа для мікродіагностики напівпровідникових матеріалів, інтегральніх структур та локальної модифікації матеріалів.