Цель работы - разработан пакет установки для измерения времени жизни носителей заряда в полупроводниках фотомодуляционным фазовым методом при помощи техники СВЧ в диапазоне 10-6:10-2 с. Локальность контроля (1мм) обеспечивается посредством фокусирования излучения освещающего образец до соответствующего уровня и освещени яобразца с помощью световода, введенного в резонаторный измерительный преобразователь и подведенный непосредственно к образцу.