Объектом исследования является зависимость выходных характеристик СВЧ резонаторных и вихретоковых измерительных преобразователей (ИП) от параметров тонкопленочных структур.
Цель работы - разработка СВЧ и ВЧ методов измерения и создание измерительных средств на их основе для неразрушающего контроля толщины диэлектрических пленок на проводящих подложках и металлических покрытий на диэлектрических основаниях. Теоретические исследования связаны с описанием характеристик преобразования СВЧ ИП на основе цилиндрического резонатора с Е- видом колебаний и вихретокового ИП, а также способов повышения их чувствительности и точности измерения толщины тонких пленок.