И88
Исследование в области разработки СВЧ методов и средств контроля параметров полупроводников : отчет о НИР (заключ.). Часть 1 / МОН України, ХТУРЭ ; науч. рук . Ю.Г. Гордиенко ; исполн.: В.В. Старостенко и др. – Харьков, 1985. – 90 с.
Исследование в области разработки СВЧ методов и средств контроля параметров полупроводников : отчет о НИР (заключ.). Часть 1 / МОН України, ХТУРЭ ; науч. рук . Ю.Г. Гордиенко ; исполн.: В.В. Старостенко и др. – Харьков, 1985. – 90 с.
Статистика використання: Видач: 0
Анотація:
Цель работы - разработка СВЧ методов и средств неразрушающего контроля основных электрофизических параметров полупроводников ( толщины и электропроводности полупроводниковых пленок; подвижности и времени жизни носителей заряда; параметров диффузионных и переходных слоев).