Шифр: 621.382(07) М74
Мокеев О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем : учеб. пособие для технических училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов. – М. : Высшая школа, 1979. – 272 с. : ил. – (Профтехобразование. Радиоэлектроника). – 0,60
Мокеев О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем : учеб. пособие для технических училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов. – М. : Высшая школа, 1979. – 272 с. : ил. – (Профтехобразование. Радиоэлектроника). – 0,60
Статистика використання: Видач: 0
Де отримати
| Місце видачі: | Кількість: | В наявності: |
| Абонемент загальний к. 358 | 2 | 2 |
Тема:
- УДК
- 621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи Ключові слова
- мікросхеми, микросхемы, Mikroschaltungen
- напівпровідникові прилади, полупроводниковые приборы, semiconductor devices
- електрохімічна обробка, ЕХО, электрохимическая обработка, ЭХО
- фотошаблони, фотошаблоны