Шифр: 621.382(07) Ч-49
Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем : учеб. пособие для студ. вузов, обучающихся по спец. "Конструирование и производство радиоаппаратуры" и "Констр. и произв. электронно-вычисл. аппаратуры" / В. Н. Черняев. – М. : Энергия, 1977. – 376 с. : ил. – 1,01