Вид документа:

Дисертації

УДК:

539.23:532.785
Л33
Лебедь О. Н. Технологические методы управления структурой эпитаксиальных слоев и монокристаллов GAAS : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 "Технология, оборудование и производство электронной техники" / Лебедь Олег Николаевич ; МОНМС Украины, Херсон. гос. морской ин-т, НАН Украины, Ин-т физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева. – Херсон-К., 2011. – 154 с. – Библиогр.: с. 137–153.


Статистика використання: Видач: 0

Анотація:
Рассмотрены методы управления и повышения однородности распределения структурных и электрофизических параметров монокристаллов GaAs и эпитаксиальных слоев, выращенных методом жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ). Изучено влияние времени термообработки, а также времени охлаждения на показатели стабильности электрофизических параметров монокристаллов с различной стехиометрией и структурой дислокаций. Методом исследования профилей диффузии примеси установлено влияние стехиометрии на электрофизические свойства полуизолирующих нелегированных GaAs. Рассмотрены особенности получения эпитаксиальных слоев арсенида галлия из раствора в расплаве висмута. Предложены способы получения p-n структур GaAs для светодиодов инфракрасного диапазона излучения и структур фотовольтаических детекторов рентгеновского диапазона излучения методом ЖФЭ, при использовании изовалентного металла - растворителя висмута с улучшенными приборными характеристиками.